一种抛物面反射镜光轴精密标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN116047785B

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202310126718.4

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: G02B27/62 G02B7/182 G02B7/198

    摘要: 本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置,其包括:干涉仪、高精度平面标准镜,高精度平面标准镜中心开孔;干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设,干涉仪发出球面波测试光束,入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上,之后沿原路返回,进入干涉仪与参考光束发生干涉,实现干涉测量。本发明通过高精度自准直,实现测量基准高精度转换,通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行;采用干涉测量方案,通过测量抛物面反射镜最佳面型,建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系,测量精度高,重复精度高。

    一种含有多个反射镜的光机系统装调方法

    公开(公告)号:CN114415389B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202210095546.4

    申请日:2022-01-26

    IPC分类号: G02B27/62 G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种含有多个反射镜的光机系统装调方法,通过工装反射镜1和工装反射镜2分别标定出方位轴及俯仰轴的旋转轴线,并以此作为装调基准;利用相互垂直的两个经纬仪将方位轴及俯仰轴装调至相互垂直,保证了光机系统回转轴系的正交性。本发明在整个装调过程中使用水平面及机械回转轴线作为装调基准,统一了装调基准,使各反射镜的法线均与水平面平行,再利用经纬仪,使光线按照设计角度反射,保证了装调精度;通过工装反射镜2及高精度经纬仪,解决了反射镜与轴线45°夹角的高精度装调,保证了光机系统视轴始终与俯仰轴垂直,通过对光机系统方位及俯仰回转轴系、视轴的确定,实现了光机系统光轴与机械轴的统一,提高了系统性能指标。

    一种反射镜位姿调整装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114384664A

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202111465371.3

    申请日:2021-12-03

    IPC分类号: G02B7/198 G02B7/182

    摘要: 本发明属于小型精密测量仪器技术领域,公开了一种反射镜位姿调整装置,包括:四维调整组件(1)、柔性连接头(2)、一维调整组件(3)、升降底座(4);柔性连接头(2)一端通过磁铁磁吸力与四维调整组件(1)连接,柔性连接头(2)另一端通过胶接方式连接反射镜;四维调整组件(1)下端通过两个螺钉与一维调整组件(3)连接,一维调整组件(3)移动时带动四维调整组件(1)整体移动;一维调整组件(3)两侧分布螺纹孔,通过螺钉与升降底座(4)连接。本发明可以实现反射镜组五维自由度的调整,并且反射镜组姿态调节和位姿调节相互独立,大幅提高装调精度和效率。

    振动环境下反射镜组件微小相对位移测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN113566716A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110996288.2

    申请日:2021-08-27

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/00

    摘要: 本发明属于光学精密检测技术领域,公开了一种振动环境下反射镜组件微小相对位移测量装置及测量方法,测量装置包括振动连接板、振动连接杆、探测器支撑座、探测器压板、光谱共焦镜头、耦合器、LED光源信号控制器、光纤、数据采集模块、数据后处理模块,以振动连接板为基体,将振动台、待测反射镜组件、振动连接杆连接为一个刚体,通过调节光谱共焦镜头的共焦面,实现镜框和反射镜之间相对位移的高精度测量。本发明解决了反射镜组件相对位移测量过程中的测量精度低、架设复杂、测量过程对反射镜造成损伤等问题,具有结构简单、刚性好、架设简单,测量精度高,对反射镜测量无损伤等特点。

    一种用于大口径扫描反射镜的微应力粘接装配方法

    公开(公告)号:CN106772921B

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201710061747.1

    申请日:2017-01-26

    IPC分类号: G02B7/183

    摘要: 本发明提出一种用于大口径扫描反射镜的微应力粘接装配方法,对橡胶垫用“预压伸缩比”控制方法实现了反射镜装配参量化控制需求,保证了装配质量;通过分区和底部注胶工艺解决了40mm深0.5mm宽的容胶缝无法灌胶的问题,并且保证了胶层的连续均匀性;通过工艺导条在胶层之间形成了8个15mm宽40mm深的空气间隙,保证胶液充分吸收空气中的水分达到固化的目的,解决了40mm深的连续胶层无法固化的问题;通过增加8个工艺定位导条,将反射镜准确定位与反射镜框上,保证了涂胶层厚度的均匀性;在反射镜与镜框装配时在镜框底部的基准面上均匀涂一层防尘脂,解决底面溢出胶液粘接产生拉伸应力的问题;该方法操作简单、方便,粘接固定应力小,可以广泛应用于大口径扫描反射镜装配过程中。

    一种抛物面反射镜光轴精密标定装置及标定方法

    公开(公告)号:CN116047785A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202310126718.4

    申请日:2023-02-17

    IPC分类号: G02B27/62 G02B7/182 G02B7/198

    摘要: 本发明公开了一种抛物面反射镜光轴精密标定装置,其包括:干涉仪、高精度平面标准镜,高精度平面标准镜中心开孔;干涉仪、高精度平面标准镜、抛物面反射镜组件由前至后同轴进行架设,干涉仪发出球面波测试光束,入射到抛物面反射镜后再反射到高精度平面标准镜上,之后沿原路返回,进入干涉仪与参考光束发生干涉,实现干涉测量。本发明通过高精度自准直,实现测量基准高精度转换,通过调节使高精度平面标准镜反射面法线、抛物面反射镜光轴、高精度自准直仪光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行;采用干涉测量方案,通过测量抛物面反射镜最佳面型,建立抛物面反射镜光轴与高精度平面标准镜之间的位置关系,测量精度高,重复精度高。

    一种含有多个反射镜的光机系统装调方法

    公开(公告)号:CN114415389A

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202210095546.4

    申请日:2022-01-26

    IPC分类号: G02B27/62 G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种含有多个反射镜的光机系统装调方法,通过工装反射镜1和工装反射镜2分别标定出方位轴及俯仰轴的旋转轴线,并以此作为装调基准;利用相互垂直的两个经纬仪将方位轴及俯仰轴装调至相互垂直,保证了光机系统回转轴系的正交性。本发明在整个装调过程中使用水平面及机械回转轴线作为装调基准,统一了装调基准,使各反射镜的法线均与水平面平行,再利用经纬仪,使光线按照设计角度反射,保证了装调精度;通过工装反射镜2及高精度经纬仪,解决了反射镜与轴线45°夹角的高精度装调,保证了光机系统视轴始终与俯仰轴垂直,通过对光机系统方位及俯仰回转轴系、视轴的确定,实现了光机系统光轴与机械轴的统一,提高了系统性能指标。

    用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置及调整方法

    公开(公告)号:CN112882247A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110087614.8

    申请日:2021-01-22

    IPC分类号: G02B27/62

    摘要: 本发明公开了一种用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置,其包括干涉仪、多自由度自适应调整机构、标准平晶;多自由度自适应调整机构包括多自由度调整模块和闭环控制器,两镜反射系统安装在多自由度调整模块上,干涉仪同轴布置在两镜反射系统前方,标准平晶同轴布置在两镜反射系统后方,两镜反射系统的次镜与次镜框粘接构成次镜组件,次镜组件安装在多自由度调整模块上;闭环控制器读取干涉仪对两镜反射系统波像差的实时测试数据,根据所设波像差目标值进行计算自动寻优,驱动多自由度调整模块带动次镜组件进行位姿调整,直至像差测试量达到目标值。本发明效率高、准确性好、通用性强。