发明公开
- 专利标题: 镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备
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申请号: CN202211743784.8申请日: 2022-12-30
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公开(公告)号: CN116005124A公开(公告)日: 2023-04-25
- 发明人: 冀鸣 , 郭一鸣 , 裴宇辉 , 刘伟基 , 秦振江 , 易洪波 , 赵刚
- 申请人: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报);
- 专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人: 佛山市博顿光电科技有限公司,中山市博顿光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报);
- 代理机构: 广州市律帆知识产权代理事务所
- 代理商 古嘉华
- 主分类号: C23C14/54
- IPC分类号: C23C14/54 ; C23C14/50 ; C23C14/46
摘要:
本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备,所述方法包括:获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度;根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度;当所述估计厚度接近于所述目标厚度时,根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的实际厚度;根据所述目标厚度、实际厚度以及所述镀膜速率计算换层判停时间;在所述换层判停时间到达后输出换层判停指令;该技术方案,在镀膜厚度临近目标厚度时通过利用估计厚度来修正计算出镀膜膜层当前已镀膜的真实厚度,从而可以得到更加准确的换层判停时间,能够提升多层镀膜时的换层判停精度,提升镀膜质量。
公开/授权文献
- CN116005124B 镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备 公开/授权日:2023-08-15
IPC分类: