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公开(公告)号：CN117821924A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311873456.4
申请日：2023-12-29
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。
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公开(公告)号：CN116005124B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202211743784.8
申请日：2022-12-30
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备，所述方法包括：获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度；根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度；当所述估计厚度接近于所述目标厚度时，根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的实际厚度；根据所述目标厚度、实际厚度以及所述镀膜速率计算换层判停时间；在所述换层判停时间到达后输出换层判停指令；该技术方案，在镀膜厚度临近目标厚度时通过利用估计厚度来修正计算出镀膜膜层当前已镀膜的真实厚度，从而可以得到更加准确的换层判停时间，能够提升多层镀膜时的换层判停精度，提升镀膜质量。
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公开(公告)号：CN114660988A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210304206.8
申请日：2022-03-25
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G05B19/05
摘要： 本申请涉及一种故障处理方法及装置，该方法包括：在工业设备运行过程中，基于设定的通信协议实时采集各个控制设备上报的设备部件的设备状态数据；读取预配置的故障规则文件，从所述故障规则文件中获取故障规则策略信息；利用所述故障规则策略信息对各个设备部件的设备状态数据进行故障判断获取工业设备当前的故障信息，并记录所述故障信息；根据所述故障信息和故障规则策略信息执行相应的故障处理；该技术方案，通过在工控软件架构基础上，利用设定数据格式的故障规则文件，便于故障规则编排，提升了故障处理的灵活性和便利性，对各个设备部件进行自动化的统一的故障处理，提升了故障处理效率；同时，也提升了用户使用体验。
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公开(公告)号：CN116005123A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211743783.3
申请日：2022-12-30
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。
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公开(公告)号：CN114625093B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210304203.4
申请日：2022-03-25
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。
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公开(公告)号：CN116005124A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211743784.8
申请日：2022-12-30
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备，所述方法包括：获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度；根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度；当所述估计厚度接近于所述目标厚度时，根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的实际厚度；根据所述目标厚度、实际厚度以及所述镀膜速率计算换层判停时间；在所述换层判停时间到达后输出换层判停指令；该技术方案，在镀膜厚度临近目标厚度时通过利用估计厚度来修正计算出镀膜膜层当前已镀膜的真实厚度，从而可以得到更加准确的换层判停时间，能够提升多层镀膜时的换层判停精度，提升镀膜质量。
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公开(公告)号：CN117867461A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311873459.8
申请日：2023-12-29
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前膜层的真实厚度；并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑；在换层后，对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案，可以准确地定位到换层位置，避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷，可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度，特别是在多层镀膜时，能够显著减少换层误差累积，提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
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公开(公告)号：CN114625094B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210304228.4
申请日：2022-03-25
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本申请涉及一种工业设备的控制系统，包括：工控机，与工控机连接的多个相互独立的控制设备；其中，各个控制设备分别连接工业设备的至少一个不同功能类型的设备部件；工控机内置总控制程序，并通过设定通讯协议与各个控制设备进行通讯；各个控制设备内置对连接的设备部件的控制逻辑函数，对外通过接口函数进行调用；总控制程序根据加工工艺调用目标控制设备的接口函数，通过设定通讯协议将加工工艺的控制指令参数下发至对应的目标控制设备；目标控制设备接收下发的控制指令参数，根据控制指令参数并调用控制逻辑函数对相应的设备部件进行控制；该技术方案，可以方便各个功能模块的扩展，使用便利性好，极大提升了工业设备的控制效率。
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公开(公告)号：CN116005125A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211744081.7
申请日：2022-12-30
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前膜层的真实厚度；并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑；在换层后，对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案，可以准确地定位到换层位置，避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷，可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度，特别是在多层镀膜时，能够显著减少换层误差累积，提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
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公开(公告)号：CN114625094A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210304228.4
申请日：2022-03-25
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本申请涉及一种工业设备的控制系统，包括：工控机，与工控机连接的多个相互独立的控制设备；其中，各个控制设备分别连接工业设备的至少一个不同功能类型的设备部件；工控机内置总控制程序，并通过设定通讯协议与各个控制设备进行通讯；各个控制设备内置对连接的设备部件的控制逻辑函数，对外通过接口函数进行调用；总控制程序根据加工工艺调用目标控制设备的接口函数，通过设定通讯协议将加工工艺的控制指令参数下发至对应的目标控制设备；目标控制设备接收下发的控制指令参数，根据控制指令参数并调用控制逻辑函数对相应的设备部件进行控制；该技术方案，可以方便各个功能模块的扩展，使用便利性好，极大提升了工业设备的控制效率。
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