本发明提供一种阵列尖端放电激发源及其原子发射光谱分析装置及方法，其中阵列尖端放电激发源，由阵列设置的三对尖端放电微等离子体构成，三对尖端电极对称、等间距阵列放置，形成串联、级联放电，增强尖端放电激发源的激发能力；结合蒸气进样方式，预先分离样品水分和基体，待测元素的易挥发形态以气态蒸气的方式由工作气体引入激发源的阵列尖端放电微等离子体中，被原子化/激发产生待测元素的特征原子发射光谱信号，经小型CCD光谱检测器检测。本发明的激发源及其分析装置与方法具有激发能力强、激发效率高、灵敏度高、抗干扰能力强(样品水分与基体干扰小)、稳定性好等特点。