本发明公开了一种循环水在线监测系统清洗剂、其制备方法及清洗方法，包括以下质量份的组分：柠檬酸钠或乙二胺四乙酸钠1‑3份；聚山梨酯‑20或脂肪酸山梨坦‑80 0.2‑0.5份；氯化钠2‑5份；多聚磷酸钠1‑3份。本发明所述清洗药剂充分考虑循环水在线监测系统内沉积物的成分情况，并不含强酸强碱，均为温和型清洗药剂，避免了对检测元件以及光学元件的腐蚀和影响，实现在清洗沉积物的同时，保护了在线监测系统。清洗过程所用清洗剂浓度较低、清洗时间较短、清洗剂残留量低，可满足循环水在线监测系统短期、长期清洗的需要。