一种硅片插补装置及其使用方法
摘要:
本发明涉及硅片生产技术领域,具体涉及一种硅片插补装置及其使用方法。包括补片机构、硅片识别机构,所述硅片识别机构设置于所述补片机构的一侧;所述补片机构包括行程机构和硅片存放机构,所述行程机构位于所述硅片存放机构的上方;所述硅片存放机构包括底座,所述底座上对称间隔设置有限位针和传感器,所述行程机构上设置有吸盘;所述硅片识别机构包括机架,所述机架内部对称设置有输送跑道,所述机架内部位于所述输送跑道一端的两侧设置有竖杆,所述竖杆上设置有检测机构。从而能够自动化地对花篮进行补片,极大地提高了补片的效率。
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