- 专利标题: 一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法
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申请号: CN202310093413.8申请日: 2023-01-19
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公开(公告)号: CN116053732A公开(公告)日: 2023-05-02
- 发明人: 于伟华 , 彭洪 , 吕昕 , 刘浩 , 张李迪 , 王新悦
- 申请人: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号;
- 专利权人: 北京理工大学,北京理工大学重庆微电子研究院
- 当前专利权人: 北京理工大学,北京理工大学重庆微电子研究院
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号;
- 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理有限公司
- 代理商 王岩
- 主分类号: H01P1/20
- IPC分类号: H01P1/20 ; H01P11/00
摘要:
本发明公开了一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法。本发明通过两个MEMS角度执行器嵌入到矩形波导中,利用偏置电压改变其中的2N个可转动平面的转动角度,调节太赫兹滤波器的工作带宽,解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且可调器件体积大的问题;本发明通过同步对称改变太赫兹MEMS带宽可重构滤波器所有可转动平面的转动角度,实现太赫兹MEMS带宽可重构滤波器的工作带宽连续可调且带宽上边带保持不变,解决了传统太赫兹滤波器工作带宽调节时带宽边带频点无法固定的问题;本发明中具有结构小、损耗低、易于太赫兹器件集成、便于大规模加工的优点;通过偏置电压调节获得高精度的工作带宽,解决传统滤波器由于设计、加工导致的工作带宽偏差。
公开/授权文献
- CN116053732B 一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法 公开/授权日:2024-06-14