本发明公开了用于检测癌胚抗原的HEMT传感器及其制备方法，属于生物传感技术领域。本发明采用弯曲栅增强型结构，在AlGaN/GaN异质结上外延一层p‑GaN，与栅极下方2DEG形成p‑n结，使得AlGaN导带提升位于费米能级之上，从而耗尽2DEG，让器件在不工作时处于关闭状态，实现了功耗的降低。多个弯曲栅相连降低了跨导，增加了电场在2DEG通道上覆盖面积，以及漏极附近电流，从而提高了器件的响应能力和分辨能力。本发明采用半胱胺溶液修饰栅极，利用半胱氨胺的巯基与栅极的金形成共价键，半胱胺分子自组装单层得以结合在栅极表面，修饰时间短，操作简便，灵敏度高，特异性强，能有效地降低癌症检测筛查的成本。