本发明公开了一种低氧稀土合金包芯线坯料制备方法，包括：以稀土氧化物为原料，以稀土氟化物为电解质，进行熔盐电解，得到稀土合金液，电解槽工作温度为第一预设温度，电解槽工作时长为第一预设时长，其中，电解设备阴极、坩埚的材质中氧含量之和小于或等于第一预设比例值；基于负压转移装置将稀土合金液由电解设备转移至包芯线坯料模具，所述负压转移装置内部真空度小于第一预设压力值；将包芯线坯料模具中的稀土合金液置于惰性气体环境中自然冷却，得到低氧稀土合金包芯线坯料。通过熔盐电解与负压转移方式得到低氧含量的稀土合金溶液，并置于惰性气体中自然冷却，实现了包芯线坯料的低氧含量，具有制备流程短、成本低、连续生产能力强等优点。