本发明提供了一种新型音叉晶体振荡片及其制造方法和压电器件，解决了现有技术中的音叉晶体振荡片具有高阻抗的缺陷，而阻抗过大会影响压电器件的Q值，进而影响频率的精度和增大能耗的技术问题。所述具有基部和从基部延伸出的一对振动臂（1），其特征在于，所述振动臂（1）的正面和反面沿着厚度方向均具有光刻腐蚀形成的台阶状沉槽，所述台阶状沉槽沿着振动臂（1）的长度方向光刻腐蚀；所述台阶状沉槽具有n级台阶，n级台阶是通过n次光刻腐蚀形成；其中，n为自然数，且n≥2；所述台阶状沉槽的外表面上均镀有电极。本发明制造的压电振荡片，具有低阻抗、频率精度高和能耗小的优势。