泄漏判定方法以及镀覆装置
摘要:
提供一种判定镀覆液向触点部件的配置区域的泄漏的有无的技术。泄漏判定方法包括:排出步骤(120),在该排出步骤中,在将被基板保持器保持的基板浸渍于镀覆液并进行镀覆处理之后,对基板保持器的触点部件排出清洗液;测量步骤(122),在该测量步骤中,测量清洗触点部件之后的清洗液的导电率;以及判定步骤(128),在该判定步骤中,基于针对成为基准的基板保持器预先测量出的清洗液的第1导电率与通过测量步骤(122)测量出的清洗液的第2导电率的比较来判定镀覆液向触点部件的配置区域的泄漏的有无。
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