发明授权
- 专利标题: 泄漏判定方法以及镀覆装置
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申请号: CN202280006005.8申请日: 2022-06-17
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公开(公告)号: CN116097077B公开(公告)日: 2024-02-27
- 发明人: 富田正辉 , 关正也 , 山本健太郎
- 申请人: 株式会社荏原制作所
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 郭忠健
- 国际申请: PCT/JP2022/024314 2022.06.17
- 国际公布: WO2023/243078 JA 2023.12.21
- 进入国家日期: 2023-02-10
- 主分类号: G01M3/16
- IPC分类号: G01M3/16 ; C25D21/00 ; C25D17/00 ; C25D7/12 ; G01N27/06
摘要:
提供一种判定镀覆液向触点部件的配置区域的泄漏的有无的技术。泄漏判定方法包括:排出步骤(120),在该排出步骤中,在将被基板保持器保持的基板浸渍于镀覆液并进行镀覆处理之后,对基板保持器的触点部件排出清洗液;测量步骤(122),在该测量步骤中,测量清洗触点部件之后的清洗液的导电率;以及判定步骤(128),在该判定步骤中,基于针对成为基准的基板保持器预先测量出的清洗液的第1导电率与通过测量步骤(122)测量出的清洗液的第2导电率的比较来判定镀覆液向触点部件的配置区域的泄漏的有无。
公开/授权文献
- CN116097077A 泄漏判定方法以及镀覆装置 公开/授权日:2023-05-09