本发明公开了一种氨气和硅烷混合废气防爆综合处理装置及方法，涉及废气处理领域。一种氨气和硅烷混合废气防爆综合处理装置，包括废气处理罐，还包括：固定连接在所述废气处理罐内壁的隔板一、隔板二，所述废气处理罐内隔板一的下侧设有燃烧腔、上侧设有储水腔，所述废气处理罐内隔板二的上侧设有喷淋腔，所述废气处理罐顶部开设有排气孔；搅拌组件，转动连接在所述废气处理罐底部内壁，所述搅拌组件上设有喷气嘴；本发明，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧腔与空气接触安全的燃烧，并通过促进空气与硅烷的充分接触，从而提高硅烷在燃烧腔内燃烧的效果，以及能够有效地达到对氨气和硅烷燃烧产生的粉尘进行净化过滤处理。