发明公开
CN116162977A 一种电镀液和电镀方法
审中-实审
- 专利标题： 一种电镀液和电镀方法
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申请号： CN202310251588.7申请日： 2023-03-14
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公开(公告)号： CN116162977A公开(公告)日： 2023-05-26
- 发明人: 刘令奇 , 李建国 , 吴智
- 申请人： 惠州市恒杰化工有限公司
- 申请人地址： 广东省惠州市惠城区水口街道办事处水口大道53号金广源华府1单元4层02号
- 专利权人： 惠州市恒杰化工有限公司
- 当前专利权人： 惠州市恒杰化工有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省惠州市惠城区水口街道办事处水口大道53号金广源华府1单元4层02号
- 代理机构： 北京众达德权知识产权代理有限公司
- 代理商 刘杰
- 主分类号： C25D3/50
- IPC分类号： C25D3/50 ; C25D3/52 ; C25D5/12
摘要：
本申请提供提供一种电镀液，所述电镀液包括：0.18‑0.22g/L的PdSO4、8.1‑9.9g/L的乙醇酸、2.7‑3.3g/L的柠檬酸、4.5‑5.5g/L的丁二酸、4.5‑5.5g/L的氨基乙酸、13.5‑16.5g/L的次磷酸钠、0.9‑1.1g/L的乙二铵四乙酸四钠。本申请实施例提供的电镀液和电镀方法，所述电镀液通过复配PdSO4、乙醇酸、柠檬酸、丁二酸、氨基乙酸、次磷酸钠、乙二胺四乙酸四钠、丁二酸，使得电镀钯的沉积速率可以提升到0.3uinch/min左右。