一种电镀液和电镀方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116162977A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310251588.7

    申请日:2023-03-14

    IPC分类号: C25D3/50 C25D3/52 C25D5/12

    摘要: 本申请提供提供一种电镀液,所述电镀液包括:0.18‑0.22g/L的PdSO4、8.1‑9.9g/L的乙醇酸、2.7‑3.3g/L的柠檬酸、4.5‑5.5g/L的丁二酸、4.5‑5.5g/L的氨基乙酸、13.5‑16.5g/L的次磷酸钠、0.9‑1.1g/L的乙二铵四乙酸四钠。本申请实施例提供的电镀液和电镀方法,所述电镀液通过复配PdSO4、乙醇酸、柠檬酸、丁二酸、氨基乙酸、次磷酸钠、乙二胺四乙酸四钠、丁二酸,使得电镀钯的沉积速率可以提升到0.3uinch/min左右。