高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用

发明公开

CN116165844A 高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用审中-实审

摘要：

本公开提供了一种高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用，该光刻胶包括：溶剂；主体成分，为含有重氮萘醌基团和硫醚结构的杯芳烃衍生物分子。本公开的光刻胶具有高分辨率、高折射率以及高耐腐蚀的特性，适用于浸没式光刻技术中。

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/022	..苯醌重氮（G03F7/075优先）