本申请提供了一种检测轨迹确定方法、装置及存储介质，涉及检测轨迹确定领域，方法包括：确定待检测工件中的第一行数和第一列数以及检测镜头的检测视野的第二行数和第二列数，确定待检测工件中相邻两个子区域之间的行间距和列间距，计算检测镜头在行方向的第二步进，确定待检测工件的第一轨迹和第二轨迹，基于第一行数、第二行数、第一列数、第二列数、第一步进以及第二步进，确定第一轨迹的第一总距离和第二轨迹的第二总距离，确定第一总距离的第一运行时长和第二总距离的第二运行时长，从第一运行时长和第二运行时长中确定较小时长对应的轨迹，作为目标轨迹。对现有技术中的检测轨迹进行优化，提高器件检测效率。