一种TOPCon太阳能电池切片及其制备方法
Abstract:
本发明提供了一种TOPCon太阳能电池切片及其制备方法,包括以下步骤:(1)将硅片衬底进行制绒清洗,在所述硅片衬底上制备pn结并背抛;(2)在所述硅片衬底的背面制备第一薄膜,所述第一薄膜采用本征非晶硅或氧化物;(3)在所述第一薄膜的表面制备第二薄膜,所述第二薄膜采用掺杂非晶硅或掺杂多晶硅,得到电池片半成品;(4)将所述电池片半成品背面位于激光切片位置处2d1宽度范围内的所述第二薄膜去除,形成2d1宽度的第一背面窗口;(5)沿着激光切片位置对所述电池片半成品进行激光切割,得到电池切片半成品;(6)在所述电池切片半成品正面和背面分别制备金属电极,得到电池切片。所述制备方法能有效提高电池切片的光电转换效率。
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