- 专利标题: 一种利用酸碱交替腐蚀制备玻璃基板通孔的方法
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申请号: CN202310165928.4申请日: 2023-02-24
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公开(公告)号: CN116177897B公开(公告)日: 2024-08-09
- 发明人: 薛成 , 张松 , 刘志磊 , 朱凡 , 陆红艳
- 申请人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市锡山经济技术开发区春晖东路142号
- 专利权人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人: 帝尔激光科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市锡山经济技术开发区春晖东路142号
- 代理机构: 武汉东喻专利代理事务所
- 代理商 何首春
- 主分类号: C03C15/00
- IPC分类号: C03C15/00
摘要:
本发明公开了一种利用酸碱交替腐蚀制备玻璃基板通孔的方法,包括如下步骤:S1:将激光改性后的玻璃基板浸没在弱酸液中,搅拌循环,在第一温度下腐蚀改性区域使通孔出口直径增加第一预设值;S2:浸没在碱液中,搅拌循环,在第二温度下清洗并使通孔出口直径增加第二预设值;S3:浸没在强酸液中,在第三温度下超声清洗预设时间;重复步骤S1、S2、S3中至少两个步骤循环腐蚀通孔至目标出口直径。本发明通过利用酸液和碱液与玻璃基板交替反应,溶解并清除玻璃基板改性区的反应生成物,保证通孔锥度和孔径的良率。
公开/授权文献
- CN116177897A 一种利用酸碱交替腐蚀制备玻璃基板通孔的方法 公开/授权日:2023-05-30