公开(公告)号：CN117923804A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202211257286.2

申请日：2022-10-14

申请人： 帝尔激光科技(无锡)有限公司

发明人： 薛成 ,  覃榆森 ,  张松 ,  刘志磊 ,  朱凡 ,  陆红艳

IPC分类号： C03C15/00

摘要： 本发明公开了一种利用腐蚀液制备玻璃基板通孔的方法，包括如下步骤：将激光改性后的玻璃基板浸没在腐蚀液中，搅拌循环腐蚀液，在第一温度下腐蚀通孔使其出口直径至第一预设值；提高温度至第二温度后继续腐蚀一段时间直至达到预设出口直径大小。本发明通过利用腐蚀液中提供的氟化物和混合酸作为主要腐蚀剂原料与玻璃基板反应，可以根据不同种类的玻璃来调整混合酸和氟化物的浓度比例，调节PH，再通过特定的循环速度和腐蚀温度变化，从而灵活调节和稳定控制腐蚀速度、保证通孔锥度和孔径的良率。

公开(公告)号：CN116177897B

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202310165928.4

申请日：2023-02-24

申请人： 帝尔激光科技(无锡)有限公司

发明人： 薛成 ,  张松 ,  刘志磊 ,  朱凡 ,  陆红艳

IPC分类号： C03C15/00

摘要： 本发明公开了一种利用酸碱交替腐蚀制备玻璃基板通孔的方法，包括如下步骤：S1：将激光改性后的玻璃基板浸没在弱酸液中，搅拌循环，在第一温度下腐蚀改性区域使通孔出口直径增加第一预设值；S2：浸没在碱液中，搅拌循环，在第二温度下清洗并使通孔出口直径增加第二预设值；S3：浸没在强酸液中，在第三温度下超声清洗预设时间；重复步骤S1、S2、S3中至少两个步骤循环腐蚀通孔至目标出口直径。本发明通过利用酸液和碱液与玻璃基板交替反应，溶解并清除玻璃基板改性区的反应生成物，保证通孔锥度和孔径的良率。

公开(公告)号：CN116177897A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202310165928.4

申请日：2023-02-24

申请人： 帝尔激光科技(无锡)有限公司

发明人： 薛成 ,  张松 ,  刘志磊 ,  朱凡 ,  陆红艳

IPC分类号： C03C15/00

摘要： 本发明公开了一种利用酸碱交替腐蚀制备玻璃基板通孔的方法，包括如下步骤：S1：将激光改性后的玻璃基板浸没在弱酸液中，搅拌循环，在第一温度下腐蚀改性区域使通孔出口直径增加第一预设值；S2：浸没在碱液中，搅拌循环，在第二温度下清洗并使通孔出口直径增加第二预设值；S3：浸没在强酸液中，在第三温度下超声清洗预设时间；重复步骤S1、S2、S3中至少两个步骤循环腐蚀通孔至目标出口直径。本发明通过利用酸液和碱液与玻璃基板交替反应，溶解并清除玻璃基板改性区的反应生成物，保证通孔锥度和孔径的良率。