本发明公开了一种基于钛合金基体自扩散的抗高温氧化涂层及其制备方法，属于金属或合金表面处理领域，所述高熵合金涂层的为AlCoCrFeNiTi，高熵合金涂层具有立方结构，以单一固溶体形式存在。本发明采用双辉等离子合金化技术，以AlCoCrFeNi靶材为溅射源，以高纯氩气轰击靶材，TiAl合金基体元素向外扩散，在其表面上制备出抗高温氧化的AlCoCrFeNiTi高熵合金涂层。本发明制备的高熵合金涂层抗氧化、结合强度高、综合力学性能良好。