一种TA15钛合金表面耐磨Ta(C,N)共渗层及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN116288135A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202211703908.X

    申请日:2022-12-29

    IPC分类号: C23C8/24

    摘要: 本发明公开了一种TA15钛合金表面耐磨Ta(C,N)共渗层及其制备方法与应用。本发明采用双层辉光等离子技术获得沉积在TA15钛合金表面的Ta(C,N)共渗层,所述Ta(C,N)共渗层的相由TaC和TaN组成,所述Ta(C,N)共渗层包括由所述TA15钛合金表面向外的Ta(C,N)互扩散层和Ta(C,N)沉积层;所述Ta(C,N)沉积层中从表层到Ta(C,N)互扩散层方向钽元素、氮元素及碳元素含量均逐渐降低,渗层截面形貌均匀致密;从Ta(C,N)互扩散层到TA15钛合金基体方向钽元素、碳元素及氮元素的含量逐渐降低,且渗层均匀致密。本发明制得的Ta(C,N)共渗层与TA15钛合金基体结合性能优越,整个涂层由外部的沉积层和内部的互扩散层组成,实现了涂层与基体的冶金结合,能够在摩擦环境下有效的保护基体材料。

    一种300M钢表面耐磨碳氮共渗层及其制备方法

    公开(公告)号:CN112795865A

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN202011608301.4

    申请日:2020-12-30

    IPC分类号: C23C8/38

    摘要: 本发明公开一种300M钢表面耐磨碳氮共渗层及其制备方法,采用双层辉光等离子技术在300M钢表面制备出致密碳氮共渗层,即(1)清洗与填装样品:首先将300M逐级打磨抛光至镜面后,在酒精中超声清洗15分钟吹干备用,装炉前打磨干净炉体内壁及靶材,然后用酒精擦拭干净;(2)石墨靶材和300M钢的距离为12~16mm,炉内工作气压为35Pa,源极电压为950~1000V,阴极电压为500~550V,工作时间为4~6h,以氩气为工作气体,氮气为反应气体,得到100~110μm厚的碳氮共渗层。本发明制得的碳氮共渗层由沉积层,外扩散层,互扩散层组成,有效提高了300M钢表面硬度,承载能力以及摩擦磨损性能。

    一种适用于等离子多元渗金属的格栅状靶材

    公开(公告)号:CN116083863A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211548481.0

    申请日:2022-12-05

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/06

    摘要: 本发明公开了一种适用于等离子多元渗金属的格栅状靶材。本发明通过串联多种不同元素的纯金属片,并利用空心阴极效应,使用简单的工装设计实现多元素源极靶材的制备,以满足简易、高效、多元、环保的要求。本发明涉及的多元格栅状靶材是由不锈钢棒和多片长方形片状纯金属串联组成,相邻金属片之间的间距为5~25 mm且金属片表面至少由两个通孔。本发明可通过调节金属片的元素成分、数量和装配位置来调控靶材溅射的成分均匀性,用于解决多种元素等离子渗金属用靶材制备困难、成本高、溅射率不足的问题。