发明公开
CN116180020A 蒸发源
审中-实审
- 专利标题： 蒸发源
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申请号： CN202310147081.7申请日： 2023-02-22
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公开(公告)号： CN116180020A公开(公告)日： 2023-05-30
- 发明人: 阿力甫·库提鲁克 , 梅新灵 , 栾佳杰 , 陈亚男 , 洪巍 , 方农华
- 申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢
- 专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 当前专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢
- 代理机构： 上海国瓴律师事务所
- 代理商 傅耀
- 主分类号： C23C14/30
- IPC分类号： C23C14/30
摘要：
本公开提供了一种蒸发源，蒸发源包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和/或聚焦电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变电子束的轰击位置。
IPC分类:
