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    微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统
    2.
    发明公开
    微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统 审中-实审

    公开(公告)号：CN118574297A

    公开(公告)日：2024-08-30

    申请号：CN202410834908.6

    申请日：2024-06-26

    申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 王艳会 ,  谢斌平

    IPC分类号： H05H1/46 ,  H01P3/12 ,  H01J37/32

    摘要： 本公开涉及等离子体源技术领域，公开了一种微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统。微波传导装置包括微波传输器和微波馈入结构。微波传输器包括谐振腔和天线。天线与谐振腔连接。微波馈入结构设置在谐振腔的远端，微波馈入结构用于馈送来自微波传输器的微波，其中，微波馈入结构包括与谐振腔连通的通气通道，用于传输工作气体。

    一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统
    3.
    发明授权
    一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统 有权

    公开(公告)号：CN110487307B

    公开(公告)日：2024-03-26

    申请号：CN201910864549.8

    申请日：2019-09-09

    申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 张上洋 ,  周波 ,  赵嘉峰 ,  谢斌平 ,  欧宏炜

    IPC分类号： G01D5/34

    摘要： 本发明提供了一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统，用于解决现有技术中过阀报警系统结构复杂、成本高昂、难以安装在真空管道内部的技术问题；一种报警电路，包括：阀信号电路、第一光电信号电路和第二光电信号电路；一种适用于真空管道系统的过阀报警系统，包括：阀状态检测模块、激光检测模块、报警电路和报警装置；实施本发明的技术方案，设置报警电路，接收阀门状态信息和光电信号，通过逻辑电路控制报警装置，无需设置单片机或工控机，系统结构简单，降低系统成本；真空管道设置视窗，通过光电门监控小车过阀状况，无需改变真空管道结构，易于安装；激光检测装置损坏也会引起报警器报警，系统可靠性高。

    一种具有催化裂解功能的蒸发源
    4.
    发明授权
    一种具有催化裂解功能的蒸发源 有权

    公开(公告)号：CN110172680B

    公开(公告)日：2024-03-26

    申请号：CN201910501672.3

    申请日：2019-06-11

    申请人： 费勉仪器科技(南京)有限公司 ,  费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 谢斌平 ,  阿力甫·库提鲁克 ,  李浩

    IPC分类号： C23C16/448 ,  C23C16/28

    摘要： 本发明提供了一种具有催化裂解功能的蒸发源，用于解决现有技术中单原子镀膜技术镀膜质量差、原料利用率低、能耗高的技术问题，包括：蒸发模块和催化裂解模块；其中，蒸发模块包括坩埚、加热件和支撑桶，坩埚内盛有待蒸发原料，支撑桶支撑坩埚和加热件，支撑桶设置开口；催化裂解模块包括催化管和蒸气导流件，催化管安装在蒸气导流件上，蒸气导流件安装在支撑桶上，蒸气导流件封闭开口；实施本发明的技术方案，设置催化裂解模块制备单原子蒸气，可获得高纯度单原子蒸气，提高原料利用率；蒸发模块和催化裂解模块独立加热，催化裂解模块设置隔热层，可以提高大原子团催化裂解效率并降低装置整体能耗。

    一种超稳定三电极电子束蒸发源
    5.
    发明授权
    一种超稳定三电极电子束蒸发源 有权 质押

    公开(公告)号：CN110117772B

    公开(公告)日：2024-03-15

    申请号：CN201910516095.5

    申请日：2019-06-14

    申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 谢斌平 ,  阿力甫·库提鲁克 ,  李浩

    IPC分类号： C23C14/30

    摘要： 本发明提供了一种超稳定三电极电子束蒸发源，用于解决现有技术中电子束蒸发装置结构复杂、电子束源存在加热不均匀、蒸发材料容易污染灯丝、电子束轨迹控制方法复杂的问题，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，靶材固定至支撑基座；灯丝为耐高温金属材料，固定至支撑基座，设置于靶材上方，灯丝接通负电；实施本发明的技术方案，在靶材和灯丝间设置反射板，可便捷地实现对电子束轨迹的控制，并且减缓灯丝被污染的速度、延长装置寿命、简化装置结构、降低装置的放气率；反射板接通负电并且负电电压设置为可连续调节的，利于实现靶材端部的匀速蒸发，增加蒸发源适用的靶材种类、提高装置兼容性。

    一种超高真空下原位多功能样品处理装置
    6.
    发明授权
    一种超高真空下原位多功能样品处理装置 有权

    公开(公告)号：CN111912688B

    公开(公告)日：2023-10-10

    申请号：CN202010834599.4

    申请日：2020-08-18

    申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 雷霆霏 ,  董金奎 ,  王冰雷 ,  何睿华 ,  洪彩云

    IPC分类号： G01N1/28

    摘要： 本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。

    高能电子衍射测量方法及分子束外延系统
    7.
    发明公开
    高能电子衍射测量方法及分子束外延系统 审中-公开

    公开(公告)号：CN116698891A

    公开(公告)日：2023-09-05

    申请号：CN202310396284.X

    申请日：2023-04-14

    申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

    发明人： 谢斌平 ,  杨贺鸣 ,  张凯

    IPC分类号： G01N23/20058

    摘要： 本公开提供了一种高能电子衍射测量方法及分子束外延系统，高能电子衍射测量方法包括：使用电子束在衬底上进行扫描；对衬底上的多个扫描点，采集多个RHEED图像；对多个RHEED图像进行分析，以获得衬底上的膜的信息。分子束外延系统包括：真空腔，用于容纳衬底；电子束发射装置，用于向衬底发射电子束；采集装置，用于对衬底上的多个扫描点，采集多个RHEED图像；以及控制装置，用于对多个RHEED图像进行分析，以获得衬底上的膜的信息。