发明公开
- 专利标题： 真空处理装置、系统及真空处理方法
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申请号： CN202111452184.1申请日： 2021-12-01
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公开(公告)号： CN116200700A公开(公告)日： 2023-06-02
- 发明人: 谢斌平 , 陈飞 , 王天邻 , 王冰雷
- 申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢
- 专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 当前专利权人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢
- 代理机构： 上海国瓴律师事务所
- 代理商 傅耀
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24 ; C23C14/50
摘要：
本公开提供了一种真空处理装置，其特征在于，包括：样品停放装置，包括：第一对准机构；掩膜停放装置，包括：与第一对准机构相配合的第二对准机构，用于使样品停放装置与掩膜停放装置对准；以及驱动装置，包括：驱动轴，与样品停放装置连接，用于驱动样品停放装置旋转。
IPC分类:
