发明公开
- 专利标题: 一种靶位结构及溅射镀膜机
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申请号: CN202310491295.6申请日: 2023-05-05
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公开(公告)号: CN116200713A公开(公告)日: 2023-06-02
- 发明人: 张汉焱 , 郑丹旭 , 朱世健 , 吕岳敏 , 吴周青
- 申请人: 汕头超声显示器技术有限公司 , 汕头超声显示器(二厂)有限公司 , 汕头超声显示器有限公司
- 申请人地址: 广东省汕头市龙湖区龙江路12号(超声电子工业园)内液晶显示器主厂房东南侧; ;
- 专利权人: 汕头超声显示器技术有限公司,汕头超声显示器(二厂)有限公司,汕头超声显示器有限公司
- 当前专利权人: 汕头超声显示器技术有限公司,汕头超声显示器(二厂)有限公司,汕头超声显示器有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省汕头市龙湖区龙江路12号(超声电子工业园)内液晶显示器主厂房东南侧; ;
- 代理机构: 汕头市潮睿专利事务有限公司
- 代理商 陈烨彬; 卢梓雄
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56 ; B08B5/02
摘要:
本发明涉及一种靶位结构及具有该靶位结构的溅射镀膜机,包括孪生靶,孪生靶包括左右并列设置并且能够相对旋转的两个圆筒靶,两个圆筒靶之间具有第一缝隙,圆筒靶的内部设有磁铁;所述靶位结构还包括整流罩和两个风刀;两个圆筒靶处于整流罩中,整流罩的前侧具有条形溅射口,整流罩上开设有两个条形进风口,两个条形进风口分别处于条形溅射口的左右两侧;两个风刀均设置在整流罩外面并分别与相应的条形进风口相对应,风刀的条形风刀口向后倾斜朝向相应圆筒靶的靶面;两个圆筒靶与整流罩之间分别具有第二缝隙。本发明不仅能够有效地除掉孪生靶的表面吸附的灰尘杂质,而且可使溅射更加均匀,并提高工艺气体的利用率以及放电的稳定性。
公开/授权文献
- CN116200713B 一种靶位结构及溅射镀膜机 公开/授权日:2023-07-07
IPC分类: