一种靶位结构及溅射镀膜机
摘要:
本发明涉及一种靶位结构及具有该靶位结构的溅射镀膜机,包括孪生靶,孪生靶包括左右并列设置并且能够相对旋转的两个圆筒靶,两个圆筒靶之间具有第一缝隙,圆筒靶的内部设有磁铁;所述靶位结构还包括整流罩和两个风刀;两个圆筒靶处于整流罩中,整流罩的前侧具有条形溅射口,整流罩上开设有两个条形进风口,两个条形进风口分别处于条形溅射口的左右两侧;两个风刀均设置在整流罩外面并分别与相应的条形进风口相对应,风刀的条形风刀口向后倾斜朝向相应圆筒靶的靶面;两个圆筒靶与整流罩之间分别具有第二缝隙。本发明不仅能够有效地除掉孪生靶的表面吸附的灰尘杂质,而且可使溅射更加均匀,并提高工艺气体的利用率以及放电的稳定性。
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