可用于真空互联的样品预处理系统
摘要:
本发明公开了一种可用于真空互联的样品预处理系统,该系统的快速进样腔组件包括进样腔体和第一传样杆,进样腔体上设有进出样窗,第一传样杆与进样腔体相连;该系统的预处理主腔组件包括主腔体、样品台、第二传样杆和机械手,样品台位于主腔体内,主腔体设有与进样腔体相连的第一插板阀、用于外接第一真空设备的第二插板阀和用于外接第二真空设备的第三插板阀;第二传样杆和机械手均与主腔体相连;第一传样杆用于在进样腔室、样品台和第一真空设备之间传送样品托;第二传样杆用于在样品台和第二真空设备之间传送样品托;机械手用于对样品台上的样品托进行原位翻转。本发明能够实现样品朝向不同的不同真空设备之间的真空互联。
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