本发明公开了一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法，属于气体输送柜安全防护领域。一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体，所述柜体的内部放置有气瓶，所述气瓶的顶部安装有启闭阀，所述柜体的内壁设置有用于锁紧气瓶的锁紧组件；本发明通过锁紧组件、铜板、往复组件、排气组件的相互配合，在柜体内部发生漏气时，通过锁紧组件对气瓶顶部出气口及时的关闭锁紧，防止更多的气体跑出，同时利用锁紧组件运行产生的动力源带动往复组件同步运行对铜板往复敲击，及时的提醒工作人员及时进行维修检查，减小工作等待的时间，提高工作效率，同时将排气组件处的通风口打开，保持空气流通，对维修人员起到很好的防护效果。