用于聚合物涂层厚度测量的非接触方法
Abstract:
本发明涉及用于聚合物涂层厚度测量的非接触方法。一种用于测量布置在阳极基板上的涂层的厚度的系统包括:光学测量系统,其被构造成将具有已知的第一偏振的光信号通过涂层朝向阳极基板传输,使得该光信号从阳极基板的表面反射;检测模块,其定位成接收反射的光信号并且被构造成确定反射的光信号的不同于第一偏振的第二偏振以及测量第一偏振和第二偏振之间的偏振差;以及测量模块,其被构造成接收测得的偏振差、基于测得的偏振差来计算涂层的厚度、以及基于计算的厚度来生成输出。
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