一种晶圆清洗设备传输机构控制方法及装置

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摘要：

本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构控制方法和装置，通过对轨道进行分段测量不同速度下的噪音，噪音小就表明振动小，基于噪音最小的原理来确定轨道上的机械手在不同位置的运行速度，从而使机械手运行过程中的振动最小，使机械手的运行过程尽量平稳，提高机械手携带晶圆运行时的稳定性。

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67	.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置