SRAM及其制作方法
摘要:
本申请提供了一种SRAM及其制作方法,该SRAM中,有源区包括沿第一方向间隔排列的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域;SRAM单元沿第二方向在有源区上排列,相邻两个SRAM单元沿第一方向镜像对称,第一方向垂直于第二方向;第一下拉管和第一控制开关沿第二方向在第一区域中排列,第二下拉管和第二控制开关沿第二方向在第四区域中排列;相邻两个第一控制开关(或第二控制开关)的栅极之间的距离为第一距离,SRAM单元中,第一控制开关(或第二控制开关)与第一下拉管(或第二下拉管)的栅极之间的距离为第二距离,第二距离大于第一距离。本申请在不改变现有工艺的情况下,提升了SRAM读写噪声容限。
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