发明公开
- 专利标题: 一种基于LIPSS钙钛矿单晶薄膜及其制备方法和应用
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申请号: CN202310418667.2申请日: 2023-04-14
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公开(公告)号: CN116367679A公开(公告)日: 2023-06-30
- 发明人: 姜澜 , 李圣佳 , 孙靖雅 , 连易灵 , 陶文攀 , 吴旭
- 申请人: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) , 北京理工大学
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市秀洲区油车港镇永越大厦18-19楼;
- 专利权人: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴),北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴),北京理工大学
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市秀洲区油车港镇永越大厦18-19楼;
- 代理机构: 西安正华恒远知识产权代理事务所
- 代理商 傅晓
- 主分类号: H10K71/20
- IPC分类号: H10K71/20 ; H10K71/12 ; H10K30/87 ; H10K77/10 ; H10K85/50 ; H10K30/40 ; B82Y40/00 ; B23K26/352
摘要:
本发明公开了一种基于LIPSS钙钛矿单晶薄膜及其制备方法和应用,涉及钙钛矿光电探测器技术领域。其制备方法包括以下步骤:在预处理基材表面利用垂直偏振的飞秒激光双脉冲诱导加工出表面周期性结构;滴加钙钛矿前驱体溶液,盖上PDMS衬底并轻压,加热;利用垂直偏振的飞秒激光双脉冲诱导加工出表面周期性结构,制得基于LIPSS钙钛矿单晶薄膜。采用本发明的钙钛矿单晶薄膜制备的光电器件不仅拥有更加优异的光电性能,而且工艺简单,成本低,本发明解决了现有钙钛矿薄膜光吸收效果差、量子效率和响应度低的问题。