本发明提供一种能利用固载有机胺基非均相催化剂的有机硅高沸物催化裂解的方法和装置。该方法以固载有机胺基非均相催化剂为催化剂，采用气‑液‑固三相流的浆态床催化裂解系统对有机硅高沸物进行催化裂解而获得以富含低沸点的有机硅单体的催化裂解产物，这些产物通过纯化而得到高纯的有机硅单体。实现上述方法所用的装置主要包括用于有机硅高沸物裂解所用的浆态床催化裂解设备和用于裂解所产的气态裂解物纯化而获得高纯有机硅单体产品的纯化设备及配套的附属设备。本发明可实现利用固载有机胺基非均相催化剂进行有机硅高沸物催化裂解，并获得有机硅单体产品，实现有机硅高沸物的无害化和资源化处理。同时，所用催化剂是固载有机胺基非均相催化剂，与反应物料不互溶且为固态，有效地降低甚至避免了催化剂的流失，减少了催化剂损耗，提高了催化剂使用效率，降低了催化剂成本。