本公开描述一种光波导法珀振动传感器，其包括敏感单元和振动信号耦合单元，敏感单元包括基座、悬臂梁、和质量块，振动信号耦合单元包括沿着悬臂梁的轴向依次连接且布置于悬臂梁的第一光波导、第二光波导和第三光波导，第二光波导的折射率相异于第一光波导的折射率和第三光波导的折射率，第一光波导与第二光波导的交界面、以及第三光波导与第二光波导的交界面分别形成相互平行的第一光反射面和第二光反射面，质量块感应于振动而发生位移以使悬臂梁、以及第二光波导发生形变，以使第一光反射面与第二光反射面之间的距离发生变化。根据本公开，提供一种具有高精确度的光波导法珀振动传感器。