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公开(公告)号：CN114061786B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202111239976.0
申请日：2021-10-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种声表面波温度传感器及其制备方法，涉及声表面波器件技术领域，声表面波温度传感器包括相互电连接的传感模块和天线模块，其中，天线模块包括第一耐高温基底和形成在该第一耐高温基底表面的图形化天线，第一耐高温基底第一表面上形成有凹槽，传感模块固定于该凹槽内。本发明提供的声表面波温度传感器传感模块和天线模块形成一个整体，相比于现有技术，体积大大缩小，能更好地实现在高温狭小的空间内进行温度的无线无源监测。而且传感模块能集成在天线模块中，这种结构更便于批量加工。
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公开(公告)号：CN114720031B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202210318073.X
申请日：2022-03-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/24
Abstract: 本公开描述一种光纤光栅传感器及其制造方法，光纤光栅传感器包括中空管体和光纤光栅，中空管体包括沿轴向依次设置的第一管体、空腔部、以及第二管体，第一管体、空腔部、以及第二管体连续地形成，并且空腔部的内径大于第一管体和第二管体中任一者的内径，光纤光栅沿着中空管体的轴向延伸并且具有与第一管体固定连接的第一连接部、以及与第二管体固定连接的第二连接部，光纤光栅的栅区的至少一部分位于第一连接部与第二连接部之间。根据本公开，能够提供一种能够提高测量灵敏度的光纤光栅传感器。
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公开(公告)号：CN118190034A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410267930.7
申请日：2021-09-04
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。
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公开(公告)号：CN117348654A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311347021.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于电桥激励技术领域，解决了现有的电桥激励源无法调节、精度略低，通用性较差的问题。提供了一种高精度可程控的应变电桥激励源，参考基准源电路输出参考基准电压至程控激励基准电路，控制电路控制程控激励基准电路输出的正、负激励基准电压经激励基准放大电路放大、缓冲和翻转生成正、负激励电压，激励电压驱动电路对正、负激励电压驱动并输出至应变电桥同时将加载到应变电桥的激励电压的压降进行自动反馈补偿。本发明输出激励电压精度高，通用性强，可适用于大部分的应变信号采集相关设备及仪器，采用集成器件构建正、负激励电压可连续调节的电源激励电路，从硬件上补偿了传输线产生压降的影响。
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公开(公告)号：CN116972889A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311083889.X
申请日：2021-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明描述一种光纤法珀传感器的相位解调方法，相位解调方法包括：获取光纤法珀传感器的最短腔室的初始腔长，发射具有预设波长范围的发射光束，多个反射面反射发射光束并形成反射光束，将反射光束分为第一光束、第二光束和第三光束，接收第一光束、第二光束和第三光束并分别转换成第一信号、第二信号和第三信号，基于第一信号、第二信号、第三信号、第一中心波长、第二中心波长、第三中心波长和光纤法珀传感器的最短腔室的初始腔长计算光纤法珀传感器的相位变化参数，基于相位变化参数获得外界被测参数。由此，能够获得一种具有高可靠性和高鲁棒性的光纤法珀传感器的相位解调方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116713844A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310721538.0
申请日：2023-06-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述一种用于光纤侧边抛磨的加工装置，包括固定机构和抛磨机构；固定机构具有用于固定光纤的限制部、位于光纤一侧的轴承、以及用于控制轴承沿第一方向移动并用于确认轴承沿第一方向的移动距离的控制部，抛磨机构包括配置为对光纤进行抛磨的磨盘、驱动磨盘进行旋转的电机、控制磨盘沿第一方向移动的第一驱动部，第一驱动部控制磨盘沿第一方向移动并在磨盘到达预设抛磨深度时磨盘与轴承抵接。由此，能够提供一种结构简便且能够便捷精确地控制抛磨深度的用于光纤侧边抛磨的加工装置。
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公开(公告)号：CN116165852B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310458670.7
申请日：2023-04-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种自适应光纤曝光系统及光纤‑平面芯片纵向异构集成方法，属于半导体器件制备的技术领域，该系统包括光源、三维微动平台、旋转式光纤夹具、光纤适配器和载物台；三维微动平台包括Y轴移动平台、X轴移动平台和旋转平台。本发明在解决了光纤与平面芯片高精度（微米级）耦合的同时，开发了自适应光纤光刻工艺及热调控过盈配合侧面键合工艺，显著提高了光纤与芯片的刚性耦合强度，规避了常用有机胶固定连接结构所带来的温度限制、化学和蠕变稳定性以及刚性匹配等问题。该方法对于光纤端面无要求，平面、凸面、斜面均可实现需求图形的定量刻蚀以实现光纤与平面芯片异构集成。
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公开(公告)号：CN116165852A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310458670.7
申请日：2023-04-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种自适应光纤曝光系统及光纤‑平面芯片纵向异构集成方法，属于半导体器件制备的技术领域，该系统包括光源、三维微动平台、旋转式光纤夹具、光纤适配器和载物台；三维微动平台包括Y轴移动平台、X轴移动平台和旋转平台。本发明在解决了光纤与平面芯片高精度（微米级）耦合的同时，开发了自适应光纤光刻工艺及热调控过盈配合侧面键合工艺，显著提高了光纤与芯片的刚性耦合强度，规避了常用有机胶固定连接结构所带来的温度限制、化学和蠕变稳定性以及刚性匹配等问题。该方法对于光纤端面无要求，平面、凸面、斜面均可实现需求图形的定量刻蚀以实现光纤与平面芯片异构集成。
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公开(公告)号：CN115855228A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211060777.8
申请日：2022-08-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本公开描述一种全石英光纤法珀振动传感器，包括敏感单元和光纤，敏感单元包括依次层叠的第一石英片、石英敏感膜片、以及第二石英片，在第一石英片与第二石英片之间形成有微腔，石英敏感膜片包括悬置于微腔且具有面向第二石英片的光反射面的质量块、以及由质量块向外周发散延伸且与第一石英片和第二石英片连接的多个梁结构，质量块感应于振动而在微腔内发生位移以使光反射面与光纤端面之间的距离发生变化，第二石英片具有与光反射面的中心对准的孔，光纤插入孔内。根据本公开，提供一种能够在高温环境下稳定工作的全石英光纤法珀振动传感器。
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公开(公告)号：CN115753130A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211509283.3
申请日：2022-11-29
Applicant: 中北大学 , 中国航发四川燃气涡轮研究院
Abstract: 本公开描述一种发动机进气总温总压探针及一种发动机进气总温总压测量系统，包括滞止罩、以及设置于滞止罩内的具有压力敏感单元的光纤压力传感器和具有温度敏感单元的光纤温度传感器，压力敏感单元与温度敏感单元相邻设置，滞止罩具有用于固定光纤压力传感器和光纤温度传感器的固定部、以及与固定部相连的通气部，固定部与通气部相连处形成阻流面，通气部包括进气口、出气口，压力敏感单元用于对通气部内的气流的压力进行感应，温度敏感单元用于对通气部内的气流的温度进行感应。根据本公开，提供一种能够在宽温度范围进行高精度测量的发动机进气总温总压探针及发动机进气总温总压测量系统。
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