本发明实施例公开了一种光刻机系统及其驱动控制方法，光刻机系统包括永磁直线电机运动平台、多个永磁直线电机以及多个位置传感器；驱动控制方法包括：在所述运动平台工作时，检测得到所述永磁直线电机的电磁参数，所述永磁直线电机的电磁参数至少包括电机位置信号和电机速度信号；若所述永磁直线电机的电磁参数不满足预设电机运行规则，确定所述永磁直线电机位置工作状态异常，并将所述永磁直线电机的工作模式切换为备用控制模式。本发明实施例，解决了位置传感器失效时导致永磁直线电机异常飞车问题，提高了系统稳定性。