一种基于悬臂梁结构合成运动的尺蠖谐振型压电马达
摘要:
本发明属于精密驱动与定位的技术领域,具体地涉及一种基于悬臂梁结构合成运动的尺蠖谐振型压电马达,包括马达底座、柔性定子机构、钳位弹性振子、驱动弹性振子、预紧机构、直线滑轨和一对滑块;由于钳位弹性振子的基片悬伸端通过第一连接板和定子基座柔性连接,驱动弹性振子的基片通过第二连接板和第一连接板柔性连接,当输入相位差为90º的谐波激励信号,钳位弹性振子在一个振动周期内实现靠近或远离直线滑轨,实现直线滑轨在一对滑槽内直线运动,改变输入谐波信号的相位差可实现马达反向直线运动;因此本发明实现压电马达的驱动和钳位一体,采用单谐波驱动,工作在谐振状态下,能量转化效率较好,运行过程中无滑动摩擦,马达运行稳定、使用寿命长。
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