- 专利标题: 一类铋基氧硫族一维材料的可控合成制备方法
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申请号: CN202310377814.6申请日: 2023-04-11
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公开(公告)号: CN116443822B公开(公告)日: 2024-10-15
- 发明人: 马知遥 , 周剑
- 申请人: 中山大学
- 申请人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 专利权人: 中山大学
- 当前专利权人: 中山大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 代理机构: 广东南北知识产权代理事务所
- 代理商 肖湘漓
- 主分类号: C01B19/00
- IPC分类号: C01B19/00 ; H01L31/18 ; H01L31/032 ; C23C14/24 ; C23C14/16 ; B82Y40/00 ; B82Y30/00
摘要:
本发明属于半导体/介电材料技术领域,具体涉及一类铋基氧硫族一维材料的可控合成制备方法。该方法具体为:先称取一定质量的Bi2Te3粉末作为前驱体置于高温区,并采用热蒸镀金硅片或滴涂金硅片作为基底置于低温区,抽取真空后将两个温区的温度按一定速率升高到目标温度,然后通入载气进行一维材料的生长,生长完毕后停止通入载气,自然冷却至室温,即制备得到Bi2O2Te/Bi2TeO5一维材料。本发明方法具有操作简便、安全性高、可控性强等优点,填补了Bi2O2Te/Bi2TeO5一维材料零合成的空白。
公开/授权文献
- CN116443822A 一类铋基氧硫族一维材料的可控合成制备方法 公开/授权日:2023-07-18