一种半导体晶圆输送设备
摘要:
本发明涉及半导体晶圆运输技术领域,尤其是指一种半导体晶圆输送设备,包括驱动箱,所述驱动箱的顶部固接有多轴机械臂一和多轴机械臂二,所述多轴机械臂一的顶部输出端固接抓臂一,所述多轴机械臂二的顶部输出端固接有抓臂二,所述抓臂一和抓臂二的端部均固接有转移架,所述驱动箱的外侧设置有多个用于存放晶圆的接收箱,通过多轴机械臂一和多轴机械臂二两者同时使用,可以一次性运输两片晶圆,提高了双倍运输效率,为了保证两个转移架相互不干扰,通过抓臂二的结构设置,抓臂一在正常移动时,会通过抓臂二的缝隙,不会撞击到抓臂二,通过此种设置,实现了快速运输晶圆的功能,且两个转移架互不干扰。
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