发明授权
- 专利标题: 一种半导体晶圆输送设备
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申请号: CN202310771270.1申请日: 2023-06-28
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公开(公告)号: CN116504694B公开(公告)日: 2023-09-12
- 发明人: 刘大庆 , 潘霖 , 黄三荣 , 李晖 , 朱跃
- 申请人: 苏州鸿安机械股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市太仓市太仓经济开发区浏阳路116号
- 专利权人: 苏州鸿安机械股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州鸿安机械股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市太仓市太仓经济开发区浏阳路116号
- 代理机构: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所
- 代理商 李柏柏
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/673
摘要:
本发明涉及半导体晶圆运输技术领域,尤其是指一种半导体晶圆输送设备,包括驱动箱,所述驱动箱的顶部固接有多轴机械臂一和多轴机械臂二,所述多轴机械臂一的顶部输出端固接抓臂一,所述多轴机械臂二的顶部输出端固接有抓臂二,所述抓臂一和抓臂二的端部均固接有转移架,所述驱动箱的外侧设置有多个用于存放晶圆的接收箱,通过多轴机械臂一和多轴机械臂二两者同时使用,可以一次性运输两片晶圆,提高了双倍运输效率,为了保证两个转移架相互不干扰,通过抓臂二的结构设置,抓臂一在正常移动时,会通过抓臂二的缝隙,不会撞击到抓臂二,通过此种设置,实现了快速运输晶圆的功能,且两个转移架互不干扰。
公开/授权文献
- CN116504694A 一种半导体晶圆输送设备 公开/授权日:2023-07-28
IPC分类: