一种激光加工结构及系统
摘要:
本发明涉及激光加工技术领域,涉及一种激光加工结构及系统。本发明的驱动组件带动转换组件与激光器相对运动,使得激光器与多个镜头中的一个镜头相对设置用以改变激光加工参数,可在原有激光加工性能未发生改变的情况下,快速进行多个镜头的切换,大大拓宽了激光加工的使用范围,其结构简单、成本低、调节方便,能有效提高加工效率;同时激光器在加工时转换镜头不会因持续加工而降低加工精度,以保证晶圆开槽的加工精度,以此提升了生产加工的良品率,节省了生产成本。
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