本申请涉及一种光窗及其制造方法、红外传感器及光窗晶圆。光窗包括光窗本体及增透膜层。光窗本体具有相互背离的第一表面和第二表面；所述光窗本体具有有效透光区域及位于所述有效透光区域至少一侧的光窗边缘区域，所述第一表面和第二表面中至少一个位于所述光窗边缘区域的部分设有一个或多个凹槽。所述增透膜层设于所述光窗本体的第一表面和第二表面中具有凹槽的表面上，且所述增透膜层覆盖凹槽的至少部分内壁。上述光窗，在光窗本体的光窗边缘区域设置凹槽，该凹槽的设置有利于减小增透膜层形成过程中所产生的残余应力，从而有利于减小光窗变形及翘曲的发生。