本发明涉及一种氮化硅密封环表面的金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、超声清洗：采用清洗剂对氮化硅密封环表面超声清洗；S2、预形核处理：将纳米金刚石粉和辅助成分、乙醇混合，得到悬浊液对氮化硅密封环表面超声处理；S3、热丝预处理：对热丝碳化处理；S4、沉积：在氮化硅密封环表面，通过热丝在反应气体中沉积至少一层金刚石涂层；反应气体包括碳源气体和辅助气体，在沉积过程中逐渐增加碳源气体的流量。本发明提高金刚石涂层和氮化硅密封环的结合力以及涂层表面光洁度，并提高涂层的耐磨性能和耐腐蚀性能，整体提高了密封环的使用寿命。