发明公开
- 专利标题： 一种旋转纯铝靶材及其制备方法
-
申请号： CN202310500916.2申请日： 2023-05-05
-
公开(公告)号： CN116555749A公开(公告)日： 2023-08-08
- 发明人: 褚欣 , 武三栓 , 胡泽宇 , 谢迎春 , 樊家麟 , 王高民 , 曾良 , 容文和 , 邓春明
- 申请人： 广东省科学院新材料研究所
- 申请人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人： 广东省科学院新材料研究所
- 当前专利权人： 广东省科学院新材料研究所
- 当前专利权人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构： 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 颜欢
- 主分类号： C23C24/04
- IPC分类号： C23C24/04 ; C23C14/35
摘要：
本发明公开了一种旋转纯铝靶材及其制备方法，属于磁控溅射靶材制备技术领域。该旋转纯铝靶材的制备包括以下步骤：采用激光辅助冷喷涂方式，于背管本体的表面设置粘结层；采用冷喷涂方式，于粘结层的背离背管本体的表面设置纯铝面层。该方法工艺简单，成本较低，能够制备得到结合强度和导热性均较高、使用寿命较长的大尺寸旋转铝靶材。
IPC分类:
