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公开(公告)号:CN116555749A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310500916.2
申请日:2023-05-05
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种旋转纯铝靶材及其制备方法,属于磁控溅射靶材制备技术领域。该旋转纯铝靶材的制备包括以下步骤:采用激光辅助冷喷涂方式,于背管本体的表面设置粘结层;采用冷喷涂方式,于粘结层的背离背管本体的表面设置纯铝面层。该方法工艺简单,成本较低,能够制备得到结合强度和导热性均较高、使用寿命较长的大尺寸旋转铝靶材。
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公开(公告)号:CN116598944A
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN202310692996.6
申请日:2023-06-12
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种铜铝复合排的修复方法及铜铝修复复合排,属于导体材料技术领域。该修复方法包括以下步骤:采用冷喷涂方式于铜铝复合排的待修复区沉积修复层;冷喷涂的工艺条件包括:工作气体压力为1‑10MPa;工作气体温度为100‑1000℃;喷涂距离为10‑100mm;喷枪移动速度为10‑1000mm/s;送粉速率为1‑500g/min。该方法能够有效修复报废的铜铝复合排,延长其使用寿命,实现经济与资源节约,具有显著的应用价值。所得的铜铝修复复合排中,修复层的性能高于原始铜铝复合排中铜层的性能。
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