- 专利标题: 基于行波电极结构的硅基薄膜铌酸锂宽带电光调制器芯片
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申请号: CN202310746818.7申请日: 2023-06-25
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公开(公告)号: CN116560119B公开(公告)日: 2023-09-19
- 发明人: 曾成 , 李廷安 , 夏金松
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 武汉安湃光电有限公司
- 当前专利权人地址: 430200 湖北省武汉市江夏区庙山光电子信息产业园3-2-1号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李晓飞
- 主分类号: G02F1/035
- IPC分类号: G02F1/035 ; G02F1/03
摘要:
本发明公开了一种基于行波电极结构的硅基薄膜铌酸锂宽带电光调制器芯片,属于电光调制技术领域,包括:在铌酸锂上刻蚀的波导结构及电极结构;所述波导结构包括:输入波导、光分束器、第一直波导、第一弯曲波导、第二直波导、第二弯曲波导、光合束器及输出波导;所述电极结构包括:GSG型平面电极及设在GSG型平面电极两侧内的容性负载行波电极,且所述容性负载行波电极对称排布在所述第一直波导和所述第二直波导两侧。本发明通过在两个调制直波导之后设置对应的弯曲波导结构以及容性负载行波电极,能够有效改善硅基薄膜铌酸锂电光调制器的阻抗匹配、降低射频反射、提升电光调制器的带宽,并显著降低制备工艺的难度。
公开/授权文献
- CN116560119A 基于行波电极结构的硅基薄膜铌酸锂宽带电光调制器芯片 公开/授权日:2023-08-08