发明公开
CN1165609A 用于在电绝缘衬底表面上按结构制造导线的被覆层
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于在电绝缘衬底表面上按结构制造导线的被覆层
- 专利标题(英): Coating for the structured production of conductors on the surface of electrically insulating substrates
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申请号: CN96191105.0申请日: 1996-09-18
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公开(公告)号: CN1165609A公开(公告)日: 1997-11-19
- 发明人: 约尔格·基克尔海恩 , 布鲁诺·维特
- 申请人: LPKFCAD/CAM系统股份公司
- 申请人地址: 联邦德国加布森
- 专利权人: LPKFCAD/CAM系统股份公司
- 当前专利权人: LPKFCAD/CAM系统股份公司
- 当前专利权人地址: 联邦德国加布森
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 王以平
- 优先权: 19535068.5 1995.09.21 DE
- 国际申请: PCT/EP1996/04074 1996.09.18
- 国际公布: WO1997/11589 DE 1997.03.27
- 进入国家日期: 1997-05-21
- 主分类号: H05K3/02
- IPC分类号: H05K3/02 ; B23K26/00
摘要:
用来以一定结构形式在电绝缘衬底表面上制造导线,特别是用来制造传感器元件和印刷电路板的被覆层,被覆层由成分为Sn1-(y+z)AyBzO2的掺杂氧化锡层构成,其中A=Sb或F,B=In或Al。其特征在于被覆层的掺杂物质锑或氟加铟或铝的含量由0.02≤y+z<0.11限定,而且掺杂物质之比满足条件1.4<y/z<2.2,这样就能用157nm至1064nm的波长范围内的电磁激光辐射进行刻蚀来使被覆层形成结构。这样提供了一种在玻璃或陶瓷衬底上施加的薄的具有高抗化学、机械或热负荷的导电层中,以高分辨率和无浪费地直接构造绝缘通道的经济的方法。
公开/授权文献
- CN1108088C 用于在电绝缘衬底表面上按结构制造导线的被覆层 公开/授权日:2003-05-07