用于在电绝缘衬底表面上按结构制造导线的被覆层
摘要:
用来以一定结构形式在电绝缘衬底表面上制造导线,特别是用来制造传感器元件和印刷电路板的被覆层,被覆层由成分为Sn1-(y+z)AyBzO2的掺杂氧化锡层构成,其中A=Sb或F,B=In或Al。其特征在于被覆层的掺杂物质锑或氟加铟或铝的含量由0.02≤y+z<0.11限定,而且掺杂物质之比满足条件1.4<y/z<2.2,这样就能用157nm至1064nm的波长范围内的电磁激光辐射进行刻蚀来使被覆层形成结构。这样提供了一种在玻璃或陶瓷衬底上施加的薄的具有高抗化学、机械或热负荷的导电层中,以高分辨率和无浪费地直接构造绝缘通道的经济的方法。
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