发明公开
- 专利标题: 一种固体润滑涂层的制备方法
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申请号: CN202310526395.8申请日: 2023-05-11
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公开(公告)号: CN116623137A公开(公告)日: 2023-08-22
- 发明人: 曹华堂 , 郭树人 , 刘中豪 , 李尚 , 刘鑫旺 , 董选普
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉红观专利代理事务所
- 代理商 陈凯
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/02 ; C23C14/54 ; C23C14/06 ; B82Y30/00 ; B82Y40/00
摘要:
本发明提出了一种固体润滑涂层的制备方法,包括以下步骤:在基底表面预沉积Cr预结合层,得到预处理基底;氮气为反应气体,氩气为保护气体,进行磁控溅射镀膜,在溅射过程中使WS2与氮气发生反应,沉积在所述预处理基底表面,通过氮气和氩气的流量配比控制反应溅射气氛,得到WS2基W‑S‑N复合固体润滑涂层;其中,氩气和氮气的流量配比为2:1‑4:3;氩气流量为10‑20sccm;氮气流量为5‑15sccm。综上,本发明通过控制氮气和氩气的流量配比来控制反应溅射气氛,最终构建非晶‑纳米晶复合涂层结构,实现了WS2基固体润滑涂层在高温交变苛刻环境下的高温连续稳定低摩阻和摩擦可逆热循环,从而达到延长涂层服役寿命的目的。
IPC分类: