发明公开
- 专利标题: 用于提取特征向量以辨识图案物体的特征提取方法
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申请号: CN202180085814.8申请日: 2021-11-24
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公开(公告)号: CN116648704A公开(公告)日: 2023-08-25
- 发明人: 李丹颖 , 刘梦 , 伍健一 , 孙任成 , 吴聪 , 许德安
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维德霍温
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维德霍温
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 毕杨
- 优先权: PCT/CN2020/137977 20201221 CN
- 国际申请: PCT/EP2021/082886 2021.11.24
- 国际公布: WO2022/135819 EN 2022.06.30
- 进入国家日期: 2023-06-19
- 主分类号: G06F30/398
- IPC分类号: G06F30/398
摘要:
披露了用于辨识图案的改善型特征提取设备和方法。一种用于辨识图案的改善型特征提取方法包括:获得表示图案实例的数据;将所述图案实例划分成多个分区;确定所述多个分区中的分区的代表性特性;使用特征向量来产生所述图案实例的表示,其中,所述特征向量包括对应于所述代表性特性的元素,其中,所述代表性特性指示所述分区的一个或更多个特征的空间分布。所述方法还包括基于所述特征向量对图案实例进行分类和基于所述特征向量对图案实例进行选择中的至少一项。