公开(公告)号：CN112352200A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980035034.5

申请日：2019-05-21

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 李丹颖 ,  范期翔 ,  A·埃尔马克 ,  张幼平 ,  杰伊·健辉·陈 ,  黄奎钧

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 描述了一种用于确定针对经受图案化过程的衬底的叠层配置的方法，所述方法包括获得(i)具有在印制的衬底上的部位信息的叠层配置的测量数据，(ii)配置成基于所述衬底的部位来预测叠层特性的衬底模型，以及(iii)包括基于所述衬底模型的多个叠层配置的叠层图。所述方法基于所述测量数据与所述叠层图的多个叠层配置之间的拟合来迭代地确定所述衬底模型的模型参数的值；以及基于所述衬底模型使用所述模型参数的值来预测特定部位处的最优叠层配置。

公开(公告)号：CN118426265A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410469033.4

申请日：2019-05-21

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 李丹颖 ,  范期翔 ,  A·埃尔马克 ,  张幼平 ,  杰伊·健辉·陈 ,  黄奎钧

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 描述了一种用于确定针对经受图案化过程的衬底的叠层配置的方法，所述方法包括获得(i)具有在印制的衬底上的部位信息的叠层配置的测量数据，(ii)配置成基于所述衬底的部位来预测叠层特性的衬底模型，以及(iii)包括基于所述衬底模型的多个叠层配置的叠层图。所述方法基于所述测量数据与所述叠层图的多个叠层配置之间的拟合来迭代地确定所述衬底模型的模型参数的值；以及基于所述衬底模型使用所述模型参数的值来预测特定部位处的最优叠层配置。

公开(公告)号：CN112352200B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN201980035034.5

申请日：2019-05-21

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 李丹颖 ,  范期翔 ,  A·埃尔马克 ,  张幼平 ,  杰伊·健辉·陈 ,  黄奎钧

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 描述了一种用于确定针对经受图案化过程的衬底的叠层配置的方法，所述方法包括获得(i)具有在印制的衬底上的部位信息的叠层配置的测量数据，(ii)配置成基于所述衬底的部位来预测叠层特性的衬底模型，以及(iii)包括基于所述衬底模型的多个叠层配置的叠层图。所述方法基于所述测量数据与所述叠层图的多个叠层配置之间的拟合来迭代地确定所述衬底模型的模型参数的值；以及基于所述衬底模型使用所述模型参数的值来预测特定部位处的最优叠层配置。

公开(公告)号：CN116648704A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202180085814.8

申请日：2021-11-24

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 李丹颖 ,  刘梦 ,  伍健一 ,  孙任成 ,  吴聪 ,  许德安

IPC分类号： G06F30/398

摘要： 披露了用于辨识图案的改善型特征提取设备和方法。一种用于辨识图案的改善型特征提取方法包括：获得表示图案实例的数据；将所述图案实例划分成多个分区；确定所述多个分区中的分区的代表性特性；使用特征向量来产生所述图案实例的表示，其中，所述特征向量包括对应于所述代表性特性的元素，其中，所述代表性特性指示所述分区的一个或更多个特征的空间分布。所述方法还包括基于所述特征向量对图案实例进行分类和基于所述特征向量对图案实例进行选择中的至少一项。