本申请公开了一种闪蒸装置及闪蒸方法，通过在腔室内设置阀门，将腔室划分为至少两个子腔室，开启阀门，子腔室连通为较大的腔室，关闭阀门，子腔室相互隔离，且不同子腔室连接的抽气泵的抽气速率可以不同。在闪蒸初始阶段，开启阀门，并开启抽气速率较小的抽气泵，使得待闪蒸薄膜可以在较大的腔室内，被以较小的抽气速率进行抽气，避免了产生巨大的气体扰动而造成制备的薄膜不均匀的问题；当腔室内的气压达到预设气压后，关闭阀门和抽气速率较小的抽气泵，开启抽气速率较大的抽气泵，使得待闪蒸薄膜可以在较小的子腔室中快速完成闪蒸，此阶段中，子腔室的气体量较小，因此快速抽真空对获得的薄膜的均匀性影响较小。