一种玻璃基板的连续式隧道炉
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115536255A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211150362.X

    申请日:2022-09-21

    IPC分类号: C03B25/08

    摘要: 本发明公开了一种玻璃基板的连续式隧道炉,其包括:隧道炉体,所述隧道炉具有进口和出口,且所述进口到所述出口的方向为输送方向;加热装置,所述加热装置沿所述隧道炉体的所述输送方向布置,用于对隧道炉体内部加热;输送装置,所述输送装置用于输送玻璃基板,且所述输送装置沿所述输送方向移动,所述输送装置上安装的所述玻璃基板的最大面与所述输送方向相交。本申请中改变了玻璃基板的输送方式,具体的,将玻璃基板沿长度方向进入隧道炉体内的运输方式改变为将玻璃基板的长度方向相对于隧道炉体的进口倾斜的进入隧道炉体内,如此可缩短玻璃基板两端的距离,有效减小两端之间的温差,降低了玻璃基板的裂片率。

    一种闪蒸装置及闪蒸方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116657136A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310630819.5

    申请日:2023-05-30

    IPC分类号: C23C26/00 H10K71/12 H10K30/50

    摘要: 本申请公开了一种闪蒸装置及闪蒸方法,通过在腔室内设置阀门,将腔室划分为至少两个子腔室,开启阀门,子腔室连通为较大的腔室,关闭阀门,子腔室相互隔离,且不同子腔室连接的抽气泵的抽气速率可以不同。在闪蒸初始阶段,开启阀门,并开启抽气速率较小的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较大的腔室内,被以较小的抽气速率进行抽气,避免了产生巨大的气体扰动而造成制备的薄膜不均匀的问题;当腔室内的气压达到预设气压后,关闭阀门和抽气速率较小的抽气泵,开启抽气速率较大的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较小的子腔室中快速完成闪蒸,此阶段中,子腔室的气体量较小,因此快速抽真空对获得的薄膜的均匀性影响较小。

    一种涂布辊刮涂系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115846124A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211666138.6

    申请日:2022-12-23

    IPC分类号: B05C1/08

    摘要: 本发明公开了一种涂布辊刮涂系统,包括:工作台,用于支撑待制膜基板;涂布辊,可转动的设置于所述工作台,涂布辊为椭圆形涂布辊,且在涂布辊的长轴与待制膜基板垂直时,涂布辊与待制膜基板的间距为第一间距d1,在所述涂布辊的短轴与待制膜基板垂直时,所述涂布辊与所述待制膜基板的间距为第二间距。本发明提供的涂布辊刮涂系统,可令涂布辊的长轴与待制膜基板垂直作为初始位置,此时涂布辊与待制膜基板的距离最小,随着涂布辊向前涂布,驱动涂布辊转动,其与待制膜基板的距离逐渐增大,使得待制膜基板前端的膜厚较薄,以在溶液量不足时,不会因为待制膜基板前端的用量过大,而导致待制膜基板后端的膜厚明显变薄的情况,保持膜厚的均匀性。

    一种加热退火装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115536254A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211154930.3

    申请日:2022-09-21

    IPC分类号: C03B25/00

    摘要: 本发明公开了一种加热退火装置,其用于对基板加热退火,包括:隔热壳体,所述隔热壳体具有开口;用于与所述基板接触导热的导热件,所述导热件用于密封所述隔热壳体的开口,并与所述隔热壳体形成安装腔;加热件,所述加热件设置在所述安装腔内。通过加热件产生热量,并在高压的安装腔内蓄热,并通过导热件对基板进行加热,即本方案利用的是热传导的加热方式,通过导热件对热量的传导,使得导热件表面温度较为均匀,进而使基板受热均匀,保证基板的加热退火效果。同时,因柔性导热件对基板产生良好支撑,避免大面积基板产生形变。